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Emission von Teilchen beim Beschuss von Festkörperoberflächen mit ionisierten Gasatomen
ein aktuelles Forschungsgebiet im schulischen PhysikunterrichtInnsbruck, 28. Mai 2018 - Das Dokument ist auf Wunsch des Urhebers/der Urheberin online nicht zugänglich
Experimental plasma analysis of DC magnetron sputtering processes
Innsbruck, 21th of August 2018