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An ultra-flexible modular high vacuum setup for thin film deposition
Götsch, Thomas
;
Wernig, Eva-Maria
;
Klötzer, Bernhard
;
Schachinger, Thomas
;
Kunze-Liebhäuser, Julia
;
Penner, Simon
In: Review of Scientific Instruments, 90 (2) (2019), Article 023902
College Park, MD : American Institute of Physics (AIP), 2019