Titelaufnahme

Titel
Experimental Plasma Analysis of DC Magnetron Sputtering Processes
Weitere Titel
Experimental Plasma Analysis of DC Magnetron Sputtering Processes
VerfasserRaggl, Stefan
Begutachter / BegutachterinnenScheier, Paul ; Aumayr, Friedrich
Betreuer / BetreuerinnenScheier, Paul ; Strauss, Georg
Erschienen2018
HochschulschriftInnsbruck, Univ., Diss., 2018
Datum der AbgabeAugust 2018
SpracheEnglisch
DokumenttypDissertation
Schlagwörter (DE)Molybdän / Gleichstrom-Magnetron Sputtern / Sekundärelektronenemission / Sputtering-Targets / Beschichtungen / Plasmaanalyse / Langmuir Sonde / Gegenfeldanalysator / Optische Emissionsspektroskopie
Schlagwörter (EN)Molybdenum / DC-magnetron sputtering / Secondary electron emission / Sputtering targets / Coatings / Plasmaanaytics / Langmuir probe / Retarding field analyzer / Optical emission spectroscopy
Zugriffsbeschränkung
 Das Werk ist online nicht zugreifbar
Links
Nachweis
Klassifikation