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Title
Emission von Teilchen beim Beschuss von Festkörperoberflächen mit ionisierten Gasatomen : ein aktuelles Forschungsgebiet im schulischen Physikunterricht / von Manuel Feichtner, BA
AuthorFeichtner, Manuel
Thesis advisorScheier, Paul ; Raggl, Stefan
PublishedInnsbruck, 28. Mai 2018
DescriptionVI, 57 Seiten : Illustrationen, Diagramme
Institutional NoteUniversität Innsbruck, Diplomarbeit, 2018
Date of SubmissionMay 2018
LanguageGerman
Document typeThesis (Diplom)
Keywords (DE)Ionen-Oberflächen-Wechselwirkung / Sekundärelektronen / Sputtern / Physikunterricht
Keywords (EN)Magnetron Sputtering / Secondary Electrons
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