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Titelaufnahme

Titel
Electron interactions with the focused electron beam induced processing (FEBID) precursor tungsten hexachloride
VerfasserNeustetter, M. ; Ferreira da Silva, F. ; Denifl, S.
Erschienen in
Rapid Communications In Mass Spectrometry, 2016, Jg. 30, H. 9, S. 1139-1144
Erschienen2016
SpracheEnglisch
DokumenttypAufsatz in einer Zeitschrift
ISSN0951-4198
URNurn:nbn:at:at-ubi:3-3249 Persistent Identifier (URN)
DOI10.1002/rcm.7542 
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Electron interactions with the focused electron beam induced processing (FEBID) precursor tungsten hexachloride [0.24 mb]
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