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Emission von Teilchen beim Beschuss von Festkörperoberflächen mit ionisierten Gasatomen
ein aktuelles Forschungsgebiet im schulischen Physikunterricht
Feichtner, Manuel
Innsbruck, 28. Mai 2018
Das Dokument ist auf Wunsch des Urhebers/der Urheberin online nicht zugänglich
Experimental plasma analysis of DC magnetron sputtering processes
Raggl, Stefan
Innsbruck, 21th of August 2018
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